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"1、 低电压分辨率全世界最高
二次电子探测器:3.0nm(30kV),8.0nm(3kV),15nm(1kV),
背散射电子探测器:4.0nm(30kV)
2、全自动电子枪;
3、大视野观察范围;
4、高精度的变焦聚光镜系统:探测电流发生变化时,图像的聚焦状态可保持不变。且不需经常清洗;
5、超级圆锥形物镜;
6、高灵敏度半导体背散射探头;
7、全对中的样品台 ;
8、高灵敏度能谱(EDS)分析:分辨率高,可检测铍(Be)以上元素,分析速度快,线扫描只需1min左右。
9、界面,处理数据简捷、方便"
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