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测试功能：金属/介质的二次电子发射系数（20ev-50kev）二次电子发射能谱（5kev以内）支持原位表面离子清洗，加热XPS测试。

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二次电子发射系数

测试项目：

测试功能：金属/介质的二次电子发射系数（20ev-50kev）二次电子发射能谱（5kev以内）支持原位表面离子清洗，加热XPS测试

样品要求：

样品要求：10mm*10mm高度小于5mm

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