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覆盖材料、生物、环境等全品类测试，XPS/
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测试及样品要求：室温测试，样品尺寸小于12×12mm；
测试功能：金属/介质的二次电子发射系数（20ev-50kev）二次电子发射能谱（5kev以内）支持原位表面离子清洗，加热XPS测试。
测试功能：金属/介质的二次电子发射系数（20ev-50kev）二次电子发射能谱（5kev以内）支持原位表面离子清洗，加热XPS测试
样品要求：10mm*10mm高度小于5mm
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