【摘要】 小面积或选区x射线光电子能谱分析技术（SAXPS）用于分析检测固体表面的小特征，如表面的污染点或颗粒。

小面积或选区x射线光电子能谱分析技术（SAXPS）用于分析检测固体表面的小特征，如表面的污染点或颗粒。SAXPS技术的能够最大限度地检测到来自指定区域的信号，减少来自周围区域的信号。有两种方法可以获得有效的SAXps光谱。一种方法是利用能谱仪的透射速度（0s）来探测x射线的光斑面积，只收集在限定区场中的光电子。另一种方法是将单色X光束聚焦在样品上形成一个小光斑（即源限定SAXPS）。

escalab 250xi的saxps使用900到200微米范围内的源限制saxps之间，以及200微米范围内的透镜限制saxps。能量谱分析的横向空间分辨率可以扩展到20微米。在k-alpha仪器上，受源限制的分析面积从400微米到30微米不等。

escalb 250xi镜头限制了saxps中使用的光圈由电机驱动、计算机控制，提高了重复性，提高了自动控制性能。用膜片代替狭缝的优点是分析面积的大小可以在允许的范围内任意选择。因此，分析区域和分析特征尺可以很好地匹配，以使信号最大化。由若干列平行采集的图像像素，可以得到横向分辨率小于20um的小面积能谱。

 

测量小面积XPS的分析面积

为了测量saxps的横向分辨率，移动样品的 边缘来分析区域，同时测量xps（例如Ag 3d5/3峰的信号）数。移动样本，直到样本边缘与分析区域相切，且起始信号仅为零。然后信号强度增加，直到银落入整个分析区域。该方法能有效地评价分析区域为圆形，分析区域外无信号，分析区域内信号均匀 （信号强度为样品位置的函数，类似钟型分布）

 

 

测量小面积XPS空间分布

画一张有距离的信号图。移动样本的边缘，信号在两个指定的总信号的百分比之间变化，并且测量对应于信号变化的距离。该距离被认为是小面积 能谱分析的横向分辨率。所涉及的百分比由商仪器制造厂给出。sai默飞由于所报告的空间分辨率大约是分析区域的半径，所以科学技术光谱仪的范围在20%到80%之间。如果能谱仪的响应可以用高斯曲线而不是钟形分布精确表示，则16%到84%之间的对应值表示两点之间的距离，且每一点对应于分析区域中心每一侧的标准偏差。

上述方法特别适用于 分析区域由位于能量分析仪前面的 (透镜限定SAXPS)XPS传输的情况。该方法也适用于分析区域受x射线束斑限制的情况(源限定SAXPS)。

 

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