辉光放电光谱/质谱（GD-OES/MS）

辉光放电光谱

1.测量时显示时间-强度曲线，是客观的，客观体现随溅射时间的增加元素强度的变化；

2.测量后根据校准曲线拟合转换成深度-百分含量曲线；

3.本数据用ORIGIN直接导入即可，出现很多纵坐标，Y轴即为对应元素，选择需要的元素作图即可（数据中可能出现“Fi”的数据列为仪器参数请忽略）

辉光放电质谱：

可得到元素半定量数据。

样品尺寸：直径2cm左右，厚度0.5-2cm；粉末大于2g；

表面尽量光滑，粗糙度Ra最好小于3微米。