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02-21
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| 技术参数 | 1. 分辨率 | 2. 加速电压 | 3. 电子束流范围 | 4. 样品台移动范围 | |
| 高真空模式 | 1.0nm @ 15kV | 200V - 30kV,连续可调 | 0.3pA - 100nA, 连续可调 | X=Y=50mm | |
| 1.8nm @ 1kV | |||||
| 0.8nm @ 30kV(STEM探测器) | |||||
| 低真空模式 | 1.5nm @ 10kV(Helix探测器) | ||||
| 1.8nm @ 3kV(Helix探测器) |
1. 每样拍8张图，可以现场
2. 可提供eds，具体费用根据实际情况而定
3. 喷金+50元/样
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