扫描电镜加速电压

在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对sem测试不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

加速电压是扫描电镜技术领域的一个重要术语。加速电压的范围为0.2~30KV，一般高压指用20KV，低压指小于10KV 。

加速电压的选用，取决于样品的质量(包括导电性)、图像质量的要求和倍率等情况。当样品导电性好时，可选用高加速电压，这时电子束能量大，激发的二次电子、背散射电子数量就多，有利于改善图像的分辨率、信噪比和反差，对高倍观察有利。但加速电压过高会产生不利因素，我们一般选择20kV的加速电压。当样品导电性差时，又不便喷碳、喷金，还要尽可能将样品原来的面貌保存下来，取得高质量的扫描照片。而这类样品容易产生充、放电效应，样品充电区的微小电位差会造成电子束散开，使束斑扩大，从而损害分辨率。邻近点的负电场又会使二次电子的轨迹产生偏离，从而降低清晰度。同时，表面负电场对入射电子产生排斥作用，改变了电子的入射角，从而使图像不稳定，产生移动、错位，甚至使表面细节根本无法呈现，加速电压越高这种现象越严重，此时选用低加速电压(<10kV)，减少充、放电现象，提高分辨率。

加速电压选择

普通扫描电镜加速电压一般为0.5—30kv(通常用10－20 kV左右)。应根据样品的性质、图像要求和观察倍率等来选择加速电压。

对于：

1.金相试样、断口试样等尽可能用高的加速电压。

2.如果观察的样品是凹凸的表面或深孔，为了减小入射电子探针的贯穿和散射体积，采用较低的加速电压可改善 图像的清晰度。

3.对于容易发生充电的非导体试样或容易烧伤的生物试样，也应该采用低的加速电压。

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