【摘要】 扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)- 形貌分析 ( 表面几何形态，形状，尺寸)

功能

 

(1)扫描电镜

 

1、扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)- 形貌分析 ( 表面几何形态，形状，尺寸)

 

2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定-- 化学成分像分布， 微区化学成分分析

 

1)用 x 射线能谱仪或波谱( EDS or WDS )采集特征 X 射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析，相鉴定。

 

2)利用背散射电子 (BSE)基于平均原子序数( 一般和相对密度相关)反差，生成化学成分相的分布图像;

 

3)利用阴极荧光，基于某些痕量元素(如过渡金属元素，稀土元素等)受电子束激发的光强反差，生成的痕量元素分布图像。

 

4)利用样品电流，基于平均原子序数反差，生成的化学成分相的分布图像，该图像与背散射电子图像亮暗相反。

 

5)利用俄歇电子，对样品物质表面1nm表层进行化学元素分布的定性定理分析。

 

3、在半导体器件( IC) 研究中的特殊应用：

 

1)利用电子束感生电流EBIC 进行成像，可以用来进行集成电路中pn 结的定位和损伤研究

 

2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

 

3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

 

4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构 (原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。

 

(2)透射电镜

 

早期的透射电子显微镜功能主要是观察样品形貌，后来发展到可以通过电子衍射原位分析样品的晶体结构。 具有能将形貌和晶体结构原位观察的两个功能是其它结构分析仪器(如光镜和 X 射线衍射仪)所不具备的。 透射电子显微镜增加附件后，其功能可以从原来的样品内部组织形貌观察(TEM )、原位的电子衍射分析(Diff )，发展到还可以进行原位的成分分析(能谱仪EDS、特征能量损失谱 EELS )、表面形貌观察 (二次电子像SED、背散射电子像 BED)和透射扫描像 (STEM )。 结合样品台设计成高温台、 低温台和拉伸台， 透射电子显微镜还可以在加热状态、 低温 冷却状态和拉伸状态下观察样品动态的组织结构、 成分的变化， 使得透射电子显微镜的功能进一步的拓宽。

 

透射电子显微镜功能的拓宽意味着一台仪器在不更换样品的情况下可以进行多种分析， 尤其是可以针对同一微区位置进行形貌、晶体结构、成分(价态)的全面分析。

 

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