ICP仪器维护

电感耦合高频等离子体发射光谱仪（ICP）一般由高频发生器、等离子体炬管和雾化器组成，日常重点维护这3个部件。

（1）仪器要在良好的使用环境， 否则缩短寿命

电感耦合高频等离子体发射光谱仪与其它大型精密仪器一样，需要在一定的环境下运行。它对环境温度和湿度有一定的要求。如果温度变化太大，光学元件受温度变化的影响就会产生谱线漂移，造成测定数据不稳定；环境湿度过大，光学元件，特别是光栅容易受潮损坏或性能降低。

（2）仪器的供电线路要符合仪器的要求

需要有相对稳定的电源，供电电压的变化一般不超过仪器需要电压的百分之五，避免仪器长期在过压或欠压下工作。当仪器在过压/欠压下工作会造成电子管的寿命将会大大地缩短。仪器运行中供电电压的较大波动同样也会造成高频发生器输出功率的不稳定，对测定结果的好坏影响极大。

（3）防尘

灰尘大量积聚在仪器的各个部位上容易造成各种各样的故障。

（4）对气体控制系统的维护保养

ICP的气体控制系统是否稳定、正常地运行，直接影响到仪器测定数据的好坏， 如果气路中有水珠、机械杂物杂屑等都会造成气流不稳定，因此，对气体控制系统要经常进行检查和维护。

（5）对进样系统及炬管的维护——属于日常重点维护范围

雾化器是进样系统中最精密、最关键的部分，需要很好地维护和使用。要定期进行清理，特别是测定高盐溶液之后，雾化器的顶部、炬管喷嘴会积有盐分，造成气溶胶通道不畅，常常反映出来的是测定强度下降，仪器反射功率升高等。炬管上的积尘或积炭都会影响点燃等离子体焰炬和保持稳定，也影响反射功率，因此， 要定期清洗。

（6）使用中尽量控制开停机的次数

开机测定前，必须做好安排，控制如温度、湿度，稳定好载气的流量等，等仪器参数各项指标都显示OK，才能开机，切忌在同一段时间里开开停停，仪器频繁开启容易造成损坏。

[1]王海燕.ICP-AES的工作原理与维护保养[J].电子产品可靠性与环境试验,2010,28(04):60-63.

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