【摘要】 针对粉末样品的深度溅射注意事项

1, 粉末样品深度刻蚀,我们是采用压片后刻蚀,颗粒的大小,压片的质量都会影响数据的,一般粉末样品我们不建议刻蚀。

2,关于刻蚀:

我们采用的是Ar离子刻蚀,能量较高,对于不耐受的样品,建议使用团簇离子枪去刻蚀。理论上,除液体,任何样品都可以刻蚀,常用刻蚀速率理论上是0.2 nm/s,相对于Ta2O5材料,实际刻蚀速率XPS是无法给出的,有特殊刻蚀速率要求的请提前给出。特别地,

对于粉末样品,刻蚀效果可能会没有规律,原因如下:

3, 粉末刻蚀有风险,务必根据自己的需求下单,并提前知悉了解风险