【摘要】 为什么我的元素扫出来的峰这么毛刺啊，不应该呀。导致这种问题的出现，一般有几种原因。

在做X 射线光电子能谱(XPS)测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS测试有了解，但是对于其原理还属于小白阶段，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

 

显示元素含量大于5%，但是峰形很弱没法分峰

@指南针南京孙老师

 

对接XPS测试项目有一年多了，

能帮客户分析数据，

能给予客户指导，

还在

一点一点和客户共同成长。

今天的孙老师想来向大家分享一个

常见的问题单以及处理方案。

遇到比较多的问题是：

 

为什么我的元素扫出来的峰这么毛刺啊，

不应该呀。

导致这种问题的出现，一般有几种原因。

 

1、元素含量本身就很低

如果低于1%以下的，

肯定很难测出来；

2、如果含量不是太低，5%左右的，

这个会跟元素的灵敏度，

以及样品的均匀性有关；

3、样品本身没有制备成功。

 

以上这3点是我个人的经验总结，

 

对于第一点，

增加扫描次数也许能改善效果；

对于第二点，重新制样再测一次；

对于第三点，建议重新送样重测。

 

C峰位偏移太大，超出1ev，结果不可用

@指南针天津邢老师

 

拿到XPS数据后，

我们第一件要做的事情是什么呢？

好多同学都会说：

“校正”!

那么我们的数据到底需不需要校正，

应该怎么校正呢，

今天我们就来聊一聊XPS“校正”的

那些事儿。

 

目前xps样品的荷电校正主要有两种方式：

 

一是消除法：

用电子中和枪是目前校正荷电效应

最好的方法，

还有一种方法是

在导电样品托上制备超薄样品，

使谱仪和样品托达到

良好的电接触状态。

 

二是校正法：

由内标法和外标法等，

目前最常用的还是碳外标法，

用真空系统中最常见的

污染碳的1s峰作为参考。

 

下面我们列举两类之前遇到过的

XPS小故事

来看看荷电校正都有哪些误区呢。

 

一类是对于本身就含碳的样品，

用C1s峰来校正的时候一定要小心，

如果样品的导电性不好，

那么先对要先对C进行分峰，

然后找到污染碳的谱峰，

将其作为基准进行校正才是准确的。

 

还有一类是当我们拿到xps数据后，

发现C1s峰与标准峰位偏移比较多，

需要校正1eV以上才可以，

这种情况的原因可能是

中和条件没有设置准确，

如果中和条件是按绝缘样品调整的，

对于那些有一定导电性的样品

就会偏移比较多，

而导电好的和完全不导电的

就不会偏移太多了。

 

遇到这种情况

我们可以与测试老师沟通一下

样品的实际情况，

中和条件

按照样品的导电情况做一下调整，

还有另外一种更简单直接的方式就是

直接按照C1s标准峰位进行校准

就可以啦。

 

本文所有内容文字和音视频资料，版权均属科学指南针网站所有，任何媒体、网站或个人未经本网协议授权不得以链接、转贴、截图等任何方式转载。