XPS数据分析的这些基本错误你都犯过嘛？-材料测试-科学指南针

【摘要】 X射线光电子能谱仪 (X-ray Photoelectron Spectroscopy 简称XPS) ，又被称为化学分析电子能谱仪 (ESCA) ，是一种常规的表面成分分析技术，除了可以表征材料的成分组成，还可以表征各成分的化学状态，并可定量表征每种成分的相对含量；因而XPS广泛地应用于材料研究的各个领域。

在做X 射线光电子能谱(XPS)测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS数据分析有了解，但是对于其原理还属于小白阶段，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

X射线光电子能谱仪 (X-ray Photoelectron Spectroscopy 简称XPS) ，又被称为化学分析电子能谱仪 (ESCA) ，是一种常规的表面成分分析技术，除了可以表征材料的成分组成，还可以表征各成分的化学状态，并可定量表征每种成分的相对含量；因而XPS广泛地应用于材料研究的各个领域。

随着应用范围的扩增，XPS的表征基本属于文章的基本表征，但是对于数据分析的规范和正确性需要大家引起重视，现在就发表的文章，里面XPS数据分析的基本错误和大家分享下。

（此次分享不针对任何人，只是就数据本身的分析，基本错误进行简单分析）。

案例一

XPS数据分析中必不可少的一步就是扣背景，上图中四幅图的扣背景都不对，基线在曲线上面了，后续对谱峰拟合、化学态定性定量都有影响。

正确的方式是选择对应元素谱峰两侧背底处（较平缓信号相对最低的区域），选择合适的背景扣除方式，常见的四种本底扣除的方法：Linear，Shirley，Tougaard和Smart。建议同一组数据分析用相同的背景扣除的方式。

图中数据分析错误的点有：扣背景的基线错误，Ni元素随意标注价态，Mn元素的2p3/2与2p1/2的面积比列不对。

案例二

图中未能正确认识轨道自旋分裂峰的概念，下图是Ca元素的数据手册资料，从资料中可以看出Ca的p轨道是轨道自旋谱峰，2p3/2与2p1/2一对是一种化学态，图一2p3/2居然四个并标注了所谓的化学态，2p1/2却只有一种化学态，面积比列2：1就更不用说了。图二是谱峰的认识错误，从资料中可以出是plasmon(损失峰)。

图中数据分析错误的点有：谱峰的认识错误以及违背基本的数据分析原则。