SEM-Raman –FIB-TOF-SIMS联用

一次进样可完成SEM-Raman-EDS –TOF-SIMS同一微区的原位表征,实现同位置一体化数据采集，实现对样品微区信息的综合采集。

1、样品必须为固体或干燥样品；

2、稳定，在真空中及电子书轰击下不会发生挥发及变形;

3、含水分较多的生物软组织样品制备，要求进行临界点干燥处理，观察图像前应先喷金。

4、样品尽量小块些（≤10*10*5mm较为方便），纳米样品一般需要超声波分散并镀膜。

5、 以下样品不能测试：

（1）低熔点样品，高密度束流溅射后可能会融化；

（2）在制样过程中容易快速潮解的样品；

（3）有磁性，放射性和腐蚀性的样品；

（4）样品含有有机试剂（乙酸乙酯，氯仿等）

（5）强导电性差的绝缘样品。

6、送样要求

（1）衬底的选择： 通过溶液涂膜的方法制备薄膜样品时，最好使用表面平整的导体及半导体作为衬底；

（2）待测试样表面不能被沾污 ：勿用手摸拿触碰样品污染样品，制样装样过程均要注意；

（3）装试样：不要直接使用塑料袋、含硅的胶带和纸袋装样品，以免硅树脂或纤维污染样品（可用干净的铝箔包裹样品后放入干净的玻璃容器中)；

（4）测试面标记方法：对薄膜、片状、块体样品标记出测试面，千万不能使用墨水笔在样品标记测试面，以免墨水中的有机试剂污染待测表面。（建议使用刀片在不测的一面画叉）；