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X射线光电子能谱仪（XPS）
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部分论文致谢
项目简介
XPS测试注意事项
1. XPS可以做的项目：常规全谱窄谱测试、俄歇谱、价带谱、深度溅射、MAPPING、角分辨
2. XPS测试的元素范围是Li-Cm，H、He元素不能测试，放射性元素请提前沟通
3. XPS数据分析可以等到元素的价态及半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号
4. 无特殊说明，默认是使用单色化AlKa源（Mono AlKa）能量是1486.6eV
5. 使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰，当有重叠谱峰的时候直接定量的结果不能参考。下方是常见的一些重叠谱峰的情况，解决方法是a.通过分峰拟合（这个是数据分析的内容）后再重新定量，b.测试其他轨道的峰，需要备注相应的轨道，默认是测试最强峰，c.如果是与部分元素的俄歇峰重叠，建议可以更换靶材试试，比如Mg靶
常见重叠谱峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL；O1s&Pd3p3/2；O1s&Sb3d5/2；N1s&Mo3p3/2；N1s&GaLMM；Al2p&Pt4f5/2；Si2p&Pt5s；Mo3d5/2&S2s；Ta4f&O2s；Co2p&FeLMM；Mn2p&NiLMM；W4f&Zr4p；Al2p&Cu3p。
6. XPS测试数据提供原始数据，全谱图谱，无元素分析，精细谱不做任何矫正，不同材料的矫正方法不同，可以提供矫正操作的视频，链接：点击下载
7. 深度溅射案例分享：点击下载
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结果展示
|
数据格式 |
相对应的设备 |
处理的软件 |
备注 |
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VGD/VGP/VMS |
赛默飞、岛津 |
Avantage |
直接打开 |
|
SPE |
PHI设备 |
Multipak |
直接打开 |
|
excel |
/ |
XPS PEAK/CASA/Multipak/Avantage |
数据转化 |
（1）Thermo Scientific K-Alpha是相对常用的设备，其结果如下：
测试结果给出的是VGD格式和EXCEL格式测试结果。EXCEl格式文件用ORIGIN软件作图；VGD格式文件可以用Avantage分析软件打开。
（2）PHI的格式如下：
测试结果给出的是原始文件SPE格式和EXCEL格式。EXCEL格式文件用Origin软件作图；SPE格式需要软件Multipak打开（但定量需要注意灵敏度因子)。
科学指南针也提供XPS数据分析服务！如果您需要XPS数据分析与作图服务，请拨打官方客服热线400-831-0631。
样品要求
1. 样品状态：可为粉末、块状、薄膜样品
2. 粉末样品：20-30mg
3. 块状、薄膜样品：块体/薄膜样品尺寸小于5*5*3mm
注意：默认是一个样品测试一个位置，需要测试多个位置按照多个样品计费。薄膜、块体等样品，若样品表面组分不均匀，会造成测试结果的差异！
常见问题
1. 样品精细谱扫出谱峰？为什么全谱里没有呢？
全谱主要是用来定性分析的，设置参数的步长比较大，含量低的在全谱里扫不出谱峰。但是精细谱扫出谱峰就表示有该元素。
2. 每种元素的检测限一样么？
不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。
3. 怎么判断拟合是好是坏，是拟合了两个峰算好还是拟合了三个峰算好？
看波动大小，越小越好；还要看对应的物理意义。波动如下图所示。具体拟合几个峰，要参考样品本身的情况，以及拟合的贴合度，没有严格的界定哪个更好。
