
X射线光电子能谱仪(XPS)
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好评率
部分论文致谢
项目简介
XPS测试注意事项
1. XPS可以做的项目:常规全谱窄谱测试、俄歇谱、价带谱、深度溅射、MAPPING、角分辨
2. XPS测试的元素范围是Li-Cm,H、He元素不能测试,放射性元素请提前沟通
3. XPS数据分析可以等到元素的价态及半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号
4. 无特殊说明,默认是使用单色化AlKa源(Mono AlKa)能量是1486.6eV
5. 使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰,当有重叠谱峰的时候直接定量的结果不能参考。下方是常见的一些重叠谱峰的情况,解决方法是a.通过分峰拟合(这个是数据分析的内容)后再重新定量,b.测试其他轨道的峰,需要备注相应的轨道,默认是测试最强峰,c.如果是与部分元素的俄歇峰重叠,建议可以更换靶材试试,比如Mg靶
常见重叠谱峰有Li1s&Co3p;B1s&P2s;C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2;C1s&K2p;O1s&NaKLL;O1s&Pd3p3/2;O1s&Sb3d5/2;N1s&Mo3p3/2;N1s&GaLMM;Al2p&Pt4f5/2;Si2p&Pt5s;Mo3d5/2&S2s;Ta4f&O2s;Co2p&FeLMM;Mn2p&NiLMM;W4f&Zr4p;Al2p&Cu3p。
6. XPS测试数据提供原始数据,全谱图谱,无元素分析,精细谱不做任何矫正,不同材料的矫正方法不同,可以提供矫正操作的视频,链接:点击下载
7. 深度溅射案例分享:点击下载
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结果展示
数据格式 |
相对应的设备 |
处理的软件 |
备注 |
VGD/VGP/VMS |
赛默飞、岛津 |
Avantage |
直接打开 |
SPE |
PHI设备 |
Multipak |
直接打开 |
excel |
/ |
XPS PEAK/CASA/Multipak/Avantage |
数据转化 |
(1)Thermo Scientific K-Alpha是相对常用的设备,其结果如下:
测试结果给出的是VGD格式和EXCEL格式测试结果。EXCEl格式文件用ORIGIN软件作图;VGD格式文件可以用Avantage分析软件打开。
(2)PHI的格式如下:
测试结果给出的是原始文件SPE格式和EXCEL格式。EXCEL格式文件用Origin软件作图;SPE格式需要软件Multipak打开(但定量需要注意灵敏度因子)。
科学指南针也提供XPS数据分析服务!如果您需要XPS数据分析与作图服务,请拨打官方客服热线400-831-0631。
样品要求
1. 样品状态:可为粉末、块状、薄膜样品
2. 粉末样品:20-30mg
3. 块状、薄膜样品:块体/薄膜样品尺寸小于5*5*3mm
注意:默认是一个样品测试一个位置,需要测试多个位置按照多个样品计费。薄膜、块体等样品,若样品表面组分不均匀,会造成测试结果的差异!
常见问题

1. 样品精细谱扫出谱峰?为什么全谱里没有呢?
全谱主要是用来定性分析的,设置参数的步长比较大,含量低的在全谱里扫不出谱峰。但是精细谱扫出谱峰就表示有该元素。

2. 每种元素的检测限一样么?
不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。

3. 怎么判断拟合是好是坏,是拟合了两个峰算好还是拟合了三个峰算好?
看波动大小,越小越好;还要看对应的物理意义。波动如下图所示。具体拟合几个峰,要参考样品本身的情况,以及拟合的贴合度,没有严格的界定哪个更好。