XPS表面及表面分析技术

在做 X 射线光电子能谱(XPS)测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS有了解，但是对于其原理还属于小白阶段，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

一．什么是表面及表面分析技术

表面：物体与周围环境（气体、液体 、固体或真空）的边界，第四态。

固体表面：是有一定厚度的，有时指表面的第一原子层，有时指上面几个原子层，有时厚度达到几个纳米的表面层。

表面分析技术：通过微观粒子或（电、磁、力等）场与表面的相互作用而获取表面信息的技术。与超高真空、电子离子光学、微弱信号检测和计算机技术密不可分。

二．表面分析包含内容

表面形貌分析：电子显微镜、离子显微镜、STM、AFM

表面组分分析：测定表面的元素组成、化学态及在表面层的横向与纵向分布¢

表面结构分析：测定表面原子排列，包括衬底表面原子及其上吸附单层原子的相对位置，LEED、STM、LEISS、ARPES、XRD 、AP -FIM¢

表面电子态分析：测定表面原子能级的性质、表面态密度、表面电荷密度分布和能量分布。UPS、STM、HREELS¢

表面原子态分析：测定表面原子振动，表面原子化学键的性质与吸附位置、吸附原子态，吸附原子成键方向和吸附质成键的基底原子的情况。高分辨电子能量损失谱、热脱附和电子、光子诱导脱附。

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