SEM测试仪器

在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对sem测试不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

SEM的主要研发和生产厂家为：日本电子，日立，FEI公司，蔡司；常用的仪器型号如表1。

表1 扫描电子显微镜常见仪器

1.日本电子扫描电子显微镜JSM-7800F

日本电子的扫描电子显微镜JSM-7800F，配置了超级混合物镜，对样品没有局限性，任何样品都可以得到超高分辨率的图像，可以实现低加速电压下的高分辨率，电子源采用浸没式（In-lens）肖特基场发射电子枪，能以大束流电流进行稳定的分析。具有自动调整功能，可以实现自动合轴、聚焦、消像散、反差、亮度调节等功能。

2.日立扫描电子显微镜SU8220

日立的扫描电子显微镜SU8200，采用低噪音冷场发射电子枪，可获得高稳定束流，采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能。另外，通过优化电子光学系统，实现1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，放大倍率从100万倍提高到200万倍，从而具有超高分辨的能力。

3.FEI公司扫描电子显微镜Nova Nano 450

FEI的扫描电子显微镜Nova Nano 450，其具有高真空和低真空两种真空模式，从而满足不同的拍摄需求；利用FEI Helix探测技术将浸入式透镜和低真空扫描电镜两种技术成功地组合在一起，可在低真空环境下有效抑制非导电材料的荷电积累效应，对污染性样品进行超高分辨率表征，同时可利用电子束进行纳米结构沉积的气体化学技术。

4.蔡司扫描电子显微镜Sigma 300

蔡司的扫描电子显微镜Sigma 300，利用Everhart-Thornley 二次电子和In-lens二次电子双探测器获取形貌和成份信息，配置了新一代的二次电子探测器，获取高达50%的信号图像。在可变压力模式下利用Sigma创新的C2D和可变压力探测器，在低真空环境下获取高达85%对比度的锐利的图像，在高真空模式下利用创新的ETSE和In-lens探测器获取表面形貌信息和超高分辨率表面信息。获益于8.5 mm 短的分析工作距离和35°夹角，获取完整且无阴影的分析结果。对于磁性样品，基于Gemini技术对磁性样品成像也能获得出色的效果。

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