【摘要】 背向散射电子(Backscattered Electrons)：入射电子与样品子发生弹性碰撞之后逃离样品表面的高能量电子就叫做背向散射电子，其动能往往略小于入射电子的能量。

1. 背向散射电子是什么?

背向散射电子(Backscattered Electrons)：入射电子与样品子发生弹性碰撞之后逃离样品表面的高能量电子就叫做背向散射电子，其动能往往略小于入射电子的能量。背向散射电子产生的数量，会因样品元素种类的不同而有着些许的差异，往往与样品中平均原子序数成正比，因此背向散射电子影像又被称为原子序对比影像。由于背向散射电子产生于距样品表面约5000Å的深度范围内，此时入射电子进入样品内部较深，电子束已被散射开来，因此背向散射电子影像分辨率不及二次电子影像。

2. 电子束引致电流是什么?

电子束引致电流(Electron-beam induced Current , EBIC)：当一个p-n接面(Junction)经电子束照射后，会产生额外的电子-空穴对，这些载子扩散时被p-n接面的电场收集，外加线路时即会产生电流。

3. 阴极发光是什么?

阴极发光(Cathodoluminescence)：当电子束产生的电子-空穴对再结合时，会放出各种波长的电磁波辐射光，这就是为阴极发光(CL)，不同的材料会发出不同颜色的光。

4. 影响电子显微镜影像品质的因素有哪些?

A. 电子枪的种类: 钨丝、LaB6或场发射的电子枪等;

B. 电磁透镜的状态;

C. 电磁透镜的型式: 如In-lens ,semi in-lens, off-lens等;

D. 操作室的洁净度:如粉尘、水气、油气等各种污染;

E. 操作所选择的条件: 如加速电压、工作电流、仪器调整、样品处理、真空度等，样品不同则需要调整不同的条件;

F. 其他因素。

5.加速电压是否越高越好?

一般来说，加速电压提高，电子束波长越短，理论上，只考虑电子束直径的大小，加速电压越大，可得到愈小的聚焦电子束，因而提高分辨率，然而提高加速电压却有一些不可忽视的缺点，如会无法看到样品表面的微细结构、出现不寻常的边缘效应、电荷累积的可能性增高、样品损伤的可能性增高。因此需要根据测试样品本身的性质，适当的加速电压调整，才可获得最清晰的影像。

 

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