【摘要】 椭偏仪作为一种偏振态的测试仪器，需要在测量中使用可产生偏振态光束的不同硬件配置，光束在样品被反射后偏振态发生变化，椭偏仪需要检测出这边变化并进行量化。

椭偏仪作为一种偏振态的测试仪器，需要在测量中使用可产生偏振态光束的不同硬件配置，光束在样品被反射后偏振态发生变化，椭偏仪需要检测出这边变化并进行量化。

 

椭偏仪常用的光学元件包括光源、偏振器件、补偿器、光束调制器和探测器。其中对光源的要求是强度稳定，波长范围可以覆盖紫外到近红外；偏振器件最理想的状态是传递一个方向 的偏振光；补偿器（延滞器）的精确延滞受光学调整和所用光波长的影响；光束调制器又可分为机械调制器、电光调制器和磁光调制器；探测器分为光电倍增管、硅光电池、InGaAs和硅光二极管，光电倍增管对偏振态敏感，硅光电池和InGaAs不仅对偏振态不敏感，而且对光束强度的线性响应范围较广。

 

椭偏仪在光源和探测器之间可以存在多种类型的光学元件，主要分为以下三类：

（1）“零”偏振型椭偏仪的结构为光源→起偏器→补偿器→样品→检偏器→探测器

（2）偏振调制型椭偏仪的结构为光源→起偏器→调制器→样品→检偏器→探测器

（3）回转元件型椭偏仪包括两类，回转起偏器椭偏仪（RPE）的结构为光源→连续回转起偏器→样品→检偏器→探测器；回转检偏器椭偏仪（RAE）的结构为光源→起偏器→样品→连续回转检偏器→探测器。

在了解了椭偏仪的相关仪器构造后，大家对椭圆仪原理的了解就会更加深入。

 

  • 包学诚, 椭偏仪的结构原理与发展, 现代科学仪器. 1999,(03)

 

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