【摘要】 根据光学元件配置的不同可以有三种型式的椭圆偏振仪结构

2、根据光学元件配置的不同可以有三种型式的椭圆偏振仪结构：“零”偏振型、偏振调制型和回转元件型等。

 

（1）“零”偏振型椭圆偏振仪

其一般结构如下：

光源→起偏器→补偿器→样品→检偏器→探测器

为了进行测试，起偏器、补偿器和检偏器调整到“零”（消化），通常手动完成。测量过程缓慢且难以做分光测试，但比较精确，系统误差较小。

 

（2）偏振调制型椭圆偏振仪

其一般结构如下：

光源→起偏器→调制器→样品→检偏器→探测器

调制器是反映时间与延滞的关系，典型的可达到50khz的高速。由于调制器对环境温度的敏感性强，仪器校准的稳定性较差。

 

（3）回转元件型椭圆偏振仪

种类椭圆偏振仪有两种结构方案：

①回转起偏器椭圆偏振仪（RPE），其一般结构如下：

光源→连续回转起偏器→样品→检偏器→探测器

②回转检偏器椭圆偏振仪（RAE），其一般结构如下：

光源→起偏器→样品→连续回转检偏器→探测器

RAE和RPE各有特点。在RPE系统中，将单色仪放置在偏振器后面可以抑制环境光的影响但要修正单色仪对偏振态的影响；而光源直接位于连续旋转的起偏器之前，光源中残余的偏振会造成数据误差，旋转起偏器还可能造成光束在样品上移动。在RAE系统中，固定偏振器可以消除由光源的残余偏振引起的任何误差探测器的残余偏振通常是极小的，因而不会影响测量精度，但是单色仪必须置于起偏器之前，这会允许环境光到达探测器中，因而要求系统在暗室中工作(当然采用光源调制和锁相放大器这个问题是可以解决的)。