【摘要】 原位液体电化学样品台是通过MEMS微加工工艺，在标准的扫描电镜样品台基础上设计电路，搭建可视化NANO-LAB和电学控制模块，配合外接法兰可与电化学工作站连接通信。

原位液体电化学样品台是通过MEMS微加工工艺，在标准的扫描电镜样品台基础上设计电路，搭建可视化NANO-LAB和电学控制模块，配合外接法兰可与电化学工作站连接通信。原位扫描电化学反应系统在标准样品台内置三电极电学模块，可在扫描电镜中实现液体样品的电化学反应过程的实时动态成像。超新芯提供的SEM液相电化学样品台可以同时对四个液体样品（三个静态和一个流体）进行观察，每个样品都被密封在各自的芯片内，且互不影响。芯片采用与原位透射电子显微系统一样的上下两片芯片，通过键合内封和环氧树脂外封与电镜的真空分隔，以确保液体无泄漏风险。SEM液体电化学样品台的用途有:

（1）电化学
  纳米电催化剂制备
  电化学腐蚀
  电镀
  半导体电路电沉积
  有机电合成
  环境污染物去除

（2）电池
  电极表面锂化和脱锂的过程
  锂硫电池中多硫化锂的溶解和沉积
  金属空气电池放电产物的生成与分解
  固体-电解质界面（SEI膜）观察
  金属枝晶的生长

（3）电催化
  氢析出/氧还原现象的观测
  小分子电催化
  电催化位点的选择性观察

 

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