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扫描电子显微镜SEM
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项目简介
扫描电子显微镜（SEM）是利用二次电子和背散射电子信号，通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器，随着科学技术水平的提高，其放大倍数 可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。
二、平台常用仪器型号有：
2、能谱：SEM能谱一般只能测C（含C）以后的元素，（B元素也能做，但是不准，不建议做）如果需要打能谱，需要备注好测试位置以及能谱打哪些元素，需要注意的是制样时待测元素不能与基底成分有重合，如果要测C元素，样品不要分散到含C的基底上，可以分散到硅片，锡纸上，如果要测Si元素，注意不要制样到硅片上。
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结果展示
不同型号仪器结果形式会有差别，下面展示的是 Zeiss 品牌SEM的结果，仅供参考。
形貌一般每样品提供8-12张左右照片，能谱点扫每样提供2个点，线扫每样测试1个位置，面扫每样测试1个位置，具体根据样品的拍摄情况而定。
1、SEM 形貌的测试参数解读如下图所示：
2、SEM-EDS能谱测试参数解读如图所示：
点扫：
线扫：
面扫（Mapping）：
样品要求
一、制样说明
1、粉体样品，常规粉末直接粘到导电胶上测试，如需分散后测试请提前说明；
2、液体样品，测试老师根据样品要求及实验室条件，随机选择滴到硅片或铝箔上，如有指定要求请提前说明；
3、薄膜或块体，请标明测试面，如需测试截面，请自行自备截面或提前说明截面制备方式。
二、样品要求
粉末、液体、薄膜、块体均可测试，粉体样品大概10mg，块体样品要求长宽≤1cm，厚度≤1cm，样品质量不超过200g；
混凝土，珊瑚沙，气凝胶等需要抽真空时间非常长的样品尺寸请尽可能直径≤5mm，厚度≤5mm；
需要脆断的样品，尺寸需要≥2*2cm，厚度＜0.5cm，较厚的样品建议尺寸准备大些；
要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。
常见问题
1. 不导电或导电差的样品，为什么要喷金？
SEM成像，是通过探测器获得二次电子和背散射电子的信号。如样品不导电或导电性不好，会造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走，一定程度后就反复出现充电放电现象（charging)，最终影响电子信号的传递，造成图像扭曲，变形、晃动等现象，喷金后样品表面导电增强，从而避免积电现象。
2. 喷金后，对样品形貌是否有影响？
样品表面喷金后，只是在其表面覆盖了几个到十几个金原子层，厚度只有几个纳米到十几个纳米而已，对于看形貌来说，几乎是没有什么影响的。
3. 扫描电镜能谱点扫，线扫和mapping之间的区别？
4. 扫描电镜和透射电镜的相似和区别？
5. SEM-EDS与XPS测试时采样深度的差别？
6. 扫描电镜的能谱为何不能准确定量？
7. 什么是背散射电子像？
8. 电镜图像的标尺与放大倍数的关系？
电镜图像的标尺通常都可以设定为固定的或可变的。前者是标尺的长度不变，但代表的长度随放大倍率变化；后者是标尺长度适应不同阶段放大倍率可变，但代表的长度在一定的放大倍率范围内固定不变。因此同样的放大倍率可以有不同的标尺，但在同一输出媒介上的实际尺寸不变。改变输出方式时，放大倍率已改变（当然显示的放大倍率不会变化），测量的尺寸当然也就改变了。因此，标尺数值的大小跟放大倍数没有必然关系，具体数值大小和不同的厂商设置有关。
9. 磁性样品会对电镜有影响吗？
电子枪发射出的电子，一般都是由磁场汇聚，当样品含有磁性的时候很容易磁化电镜的"心脏"部件-极靴，同时容易吸附到极靴表面或光学通道上，因此磁性样品的测试可能会给电镜带来损害，承接磁性样品的检测单位也需要去承担相应的风险。
10. 我的样品磁铁吸不上来，怎么就属于磁性了？
以奥氏体为例，一方面我们并不完全清楚您样品的加工工艺和组成，大多数人都认为不锈钢是没有磁性的，并借助磁铁来鉴別不锈钢，这种方法很不科学，在现实生活中，首先锌合金、铜合金一般都可以仿不锈钢的外观颜色，也没有磁性，容易误认为是不锈钢，而即使是我们目前最常使用的 304 钢种，在经过冷加工后，也会出现不同程度的磁性。所以不能只凭一块磁铁来判断不锈钢的真伪。
另一方面，即便有些样品对外表现为无磁，但当本身含有磁性元素时候，在进入磁场以后获得充磁，也会表现出一定的磁性，对仪器造成损伤。
因此，保险起见，含有磁性元素的样品，我们将统一按照磁性样品来处理。
11. 每次喷金的颗粒大小会一样吗？
喷金颗粒的大小和靶材、样品放置的高度、时间、电流、有无保护气都有影响，无法保证一致
