【摘要】 成都实验室中心，成立于2020年7月，位于四川省成都市成华区玉双路2号，是杭州研趣信息技术有限公司的自营实验室之一。

 

01.中心简介

成都实验室中心，成立于2020年7月，位于四川省成都市成华区玉双路2号，是杭州研趣信息技术有限公司的自营实验室之一。

 

测试中心拥有固定资产约1400万，总工作面积220余平方米，目前职工8人，其中研究生3人。目前主要从事各类材料的表面性质分析、微观形貌分析等业务。

 

中心保持跟踪公司业务发展要求和检测市场需求，目前配备了X射线光电子能谱（XPS）— Thermo Scoemtific K-Alpha、扫描电子显微镜（SEM）— Zeiss GeminiSEM 300（配备Oxford Xplore 30能谱）等大型高端精密仪器。

 

中心始终坚持“客户第一”，以“是否能为客户创造价值”为做决定的首要判断标准。

 

我们立志给客户提供专业、高效、可靠、更具性价比的分析测试服务，致力于打造一流的综合性分析服务中心，提升企业竞争力、提高客户满意度，成为科学研发和企业的首选服务商。

 

中心将继续不断加强实验室人才队伍建设，不断提高专业技术水平，不断完善实验室运营管理体系，不断优化服务质量。

 

02.中心详情

中心目前有表面性质分析室和微观形貌分析室、样品制备室和样品存储室。表面性质分析室有1台XPS设备及其制样辅助设备压片机；微观形貌分析室现有一台SEM设备及一台喷金设备；样品制备室有配有万分之一天平、烘箱、小型微波超声仪及红外灯等。

 

图1 成都实验室中心环境

 

2.1设备介绍

 

①　XPS：Thermo Scoemtific K-Alpha  X射线光电子能谱仪

 

图2 XPS设备图

 

此设备适合于在表面分析实验室内大批量、快速测量，可以提供常规的XPS全谱/窄谱测试、深度刻蚀XPS测试、表面的XPS mapping测试等业务，定性分析样品表面元素价态，半含量分析表面元素的含量。

 

设备配置Al Kα X射线单色器，可用于化学态高分辨分析。测试可选择50 µm至400 µm大小的分析区域，步长 5 µm。将分析区域调到感兴趣的特征区域，使得信号最强。

 

高效电子光学透镜、半球形能量分析器和探测器使得仪器具有高灵敏探测能力，能快速获得数据。

 

设备的荷电补偿使得仪器分析绝缘样品就像分析非绝缘样品一样容易，双束中和源采用离子和极地能量的电子，可使得样品几乎没有荷电积累。在大多数情况下，无需荷电校准。

 

除此之外，设备能得到表面化学态像，用于分析样品上的微小特征，能得到整个样品台大小的大样品图像。独特的光学观察系统可将XPS像与储存的光学图像重叠在一起，这一强大功能可用于识别和定量分析表面化学组分的分布。

 

设备科用标准离子源进行深入表面层以下分析。自动优化源和自动供气确保优良的性能和实验重复性。

 

以下为测试数据结果展示，若无特殊要求，XPS直接测试样品表面数据，如图3中（1）刻蚀前所示。

 

若对样品进行刻蚀，数据如（2）刻蚀后所示，设备刻蚀采用的是氩单原子离子源，针对不同样品能量可以调节。

 

粉末及表面不平整的样品不做刻蚀。此外，设备具备深度剖析、线扫、面扫及SnapMap的功能，SnapMap结果如图3所示，图中为Cu元素的分布。

 

（1）刻蚀前                                                             （2）刻蚀后

 

 

 

 

 

图3 XPS数据结果展示

 

 

图4 Cu网SnapMap数据展示

 

②　SEM：Zeiss GeminiSEM 300带能谱

 

图5 成都SEM实验室

 

此设备广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。

 

它在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量。

 

此设备最好分辨率可达：0.7nm @15 kV，1.2nm @1kV；放大倍数范围：12-2,000,000×；加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）。

 

可以提供常规样品表面形貌测试、断面形貌测试、成分定性/半定量分析，包括点能谱、线能谱、面能谱（mapping），导电性差样品可以提供喷金服务，以增加导电性提高拍摄效果；此设备能测试的样品种类多样，比如块体、薄膜、粉末样品，实验室支持溶液超声分散、液氮脆断等制样方法。

 

图6 SEM常规形貌图

 

另外，设备配备了Oxford Xplore 30能谱，可进行点能谱、线能谱、面能谱测试。

 

a. 点扫。将电子束固定于样品中某一点或某一区域上，进行定性或定量分析。可自由选择测试的范围，结果中包含点位图、峰图、半定量数据以及可供做图的txt数据。

 

图7 能谱点扫点位图

 

图8 能谱点扫峰图及半定量数据

 

b. 线扫。电子束沿一条线对样品进行扫描，得到元素变化的线分布曲线。结合样品形貌对照分析，能直观获得元素在不同区域的分布情况。

 

结果中包含线位图、测试所有元素线图、测试各元素的单独线图以及可供做线扫图的Excel文档。若需要该条线上的半定量数据需提前说明，也可以导出。

 

图9 能谱线扫线位图

 

图10 能谱线扫结果展示

 

c. 面扫。电子束在样品表面扫描，主要用于测试某一范围内的元素分布，常用作定性分析。

 

结果中包含测试元素分布总图、各元素分布图、该区域的峰图、半定量数据以及可供做图的txt数据。

 

图11 能谱面扫元素总分布图

 

 

图12 能谱面扫各元素分布图

 

图13 能谱面扫峰图及半定量数据

 

③　中心特色服务

 

中心提供SEM远程在线测试，足不出户即可享受犹如现场测试的服务，高清视频、身临其境、实时沟通、精准选区、便捷高效、省时省力！

 

 

（1）客户电脑端

 

 

（2）实验室电脑端

 

 

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