椭偏仪的发展

椭圆偏振光谱(SE)是一种通过调制和解调光的偏振态来检测和分析偏振光与物质相互作用的测试技术。它是一种无损伤、低成本、高精度的技术，已发展成为纳米科学和纳米制造产业中表征纳米材料、纳米薄膜和纳米结构的有力工具。

一般来说，光谱椭偏仪可以根据偏振调制原理（例如，机械旋转、电驱动调制、空间分幅等）分为不同的类型。其中，通过机械旋转实现偏振调制的旋转元件椭偏仪具有数据处理简单、适用光谱范围广以及结构紧凑等独特优势，因此成为了目前应用最广泛的椭偏仪。在椭偏仪的发展历史中，旋转偏振式椭偏仪最早出现在20世纪70年代，之后又出现了旋转补偿式椭偏仪。后者的双旋转补偿器结构具有完全米勒矩阵测量的优点，因此更适用于复杂的应用中，如去偏振和光学各向异性测量。旋转偏振式椭偏仪在原理上无法实现完整的米勒矩阵，但偏振器通常不受材料中严重色散的限制，虽然这会显著降低椭偏仪的性能，但椭偏仪应用的光谱范围得到了提高。旋转偏振式椭偏仪由于结构更简单，不需要彩色元件，可以很容易地扩展到从紫外线到红外范围的光谱宽带应用。

旋转偏振式椭偏仪根据旋转偏振器的位置具有几种不同的配置，典型地包括偏振器在源臂上旋转的旋转偏振器椭偏仪(RPE)，分析器在检测臂上旋转的旋转分析器椭偏仪(RAE)以及旋转式偏振器-分析器椭偏仪(RPAE)。

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