扫描电子显微镜的应用

1.扫描电镜观察纳米材料

纳米材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-100nm范围内，观察其微观结构尤为重要，恰好扫描电镜的一个重要特点就是具有很高的分辨率。因此扫描电子显微镜已广泛用于观察纳米材料。

2.扫描电镜观察材料断口

扫描电镜具有很高的分辨率，能够从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质。在材料断裂原因的分析、事故原因的分析已经工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。  

3.扫描电镜观察大试样的原始表面

由于扫描电镜对检测的样品形状或者大小没有具体要求，载样盘多大，就能装下多大的试样，因此能够能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。  　　

4.扫描电镜观察厚试样  　　

扫描电镜在观察厚试样时，能得到高的分辨率和最真实的形貌。  　　

5.扫描电镜观察试样区域细节  　　

扫描电镜具有深层次，高景深的测试角度，试样在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移、三度空间旋转)，这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大的便利。  　　

6.扫描电镜连续观察  　　

扫描电镜进行从高倍到低倍的连续观察，放大倍数的可变范围很宽，且不用经常对焦。  　　

7.扫描电镜观察生物试样  　　

由于电子照射面发生试样的损伤和污染程度很小，这一点对观察一些生物试样特别重要。  　　

8.扫描电镜进行动态观察  　　

在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，则可以通过电视装置，观察相变、断烈等动态的变化过程。  　　

9.扫描电镜观察试样表面形貌  　　

扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分和元素的分析，以及通过电子通道花样进行结晶学分析，选区尺寸可以从10μm到3μm^[1]。

[1] 张庆军.扫描电子显微镜的应用[J].河北理工学院学报  ．

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