扫描电子显微镜的成像原理

扫描电子显微镜是一种大型分析仪器，它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。其成像原理示意图如图一所示。

图一扫描电子显微镜的成像原理示意图

所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象单元扫描的工作过程。 它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的，只是在结构和部件上稍有差异而已。在电子扫描中，把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描，把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。 两者的扫描速度完全不同，行扫描的速度比帧扫描的速度快，对于 1000 条线的扫描图象来说，速度比为1000。电子显微镜的工作是进入微观世界的工作。 我们平常所说的微乎其微或微不足道的东西，在微观世界中，这个微也就不称其微，我们提出用纳米作为显微技术中的常用度量单位，即1nm=10^-6mm。 扫描电镜成像过程与电视成像过程有很多相似之处，而与透射电镜的成像原理完全不同。透射电镜是利用成像电磁透镜一次成像，而扫描电镜的成像则不需要成像透镜，其图象是按一定时间、空间顺序逐点形成并在镜体外显像管上显示。二次电子成像是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用最广泛，分辨本领最高的一种图象。 我们以二次电子成像为例来说明扫描电镜成像的原理。由电子枪发射的电子束最高可达 30k eV，经会聚透镜、物镜缩小和聚焦，在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束。 在扫描线圈的磁场作用下，入射电子束在样品表面上按照一定的空间和时间顺序做光栅式逐点扫描。 由于入射电子与样品之间的相互作用，将从样品中激发出二次电子。 由于二次电子收集极的作用，可将各个方向发射的二级电子汇集起来， 再将加速极加速射到闪烁体上，转变成光信号，经过光导管到达光电倍增管，使光信号再转变成电信号。 这个电信号又经视频放大器放大并将其输送至显像管的栅极，调制显像管的亮度。 因而，再荧光屏上呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面形貌的二次电子象。  在扫描电镜中，入射电子束在样品上的扫描和显像管中电子束在荧光屏上的扫描是用一个共同的扫描发生器控制的。这样就保证了入射电子束的扫描和显像管中电子束的扫描完全同步，保证了样品上的  “物点”与荧光屏上的“象点”在时间和空间上一一对应，称其为“同步扫描”。 一般扫描图象是由近 100 万个与物点一一对应的图象单元构  成的，正因为如此，才使得扫描电镜除能显示一般的形貌外，还能将样品局部范围内的化学元素、光、电、磁等性质的差异以二维图象形式显示^[1]。

[1]武开业.扫描电子显微镜原理及特点[J].科技信息  

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