【摘要】 TEM样品的最终减薄，以获得电子束透明的观察区域。

在制备透射电子显微镜（TEM测试）薄膜样品时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，大多数同学没有太好的处理薄膜样品的方法，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

 

离子减薄

 

目的：TEM样品的最终减薄，以获得电子束透明的观察区域。

 

特点：不受材料电性能的影响，即不管材料是否导电，金属或非金属或者二者混合物，不管材料结构多复杂均可用此方法制备薄膜。制样时惰性气体介质（氩气）对样品组织结构无影响。

 

原理：在电场作用下氩气被电离成带Ar+的氩离子，带着一定能量的氩离子从阳极飞向阴极，通过阴极孔，打在接地的样品表面，使样品表面溅射。

 

注意事项：减薄开始阶段，一般采用较高电压，较大束流，较大角度，这个阶段约占整个减薄过程的一半时间，随后，电压，束流，角度可相应减小，直到样品出孔，样品出孔后，即可转入样品抛光阶段，这阶段主要是改善样品质量，使薄膜获得平坦而宽大的薄区。

 

以上就是科学指南针检测平台对网络上tem相关资料的整理如有测试需求，可以和科学指南针联系，我们会给与您最准确的数据和最好的服务体验，希望可以在大家的科研路上有所帮助。

 

免责声明：部分文章整合自网络，因内容庞杂无法联系到全部作者，如有侵权，请联系删除，我们会在第一时间予以答复，万分感谢。