【摘要】 获取衍射花样的方法是光阑选区衍射和微束选区衍射,前者多在5平方微米以上,后者可在0.5平方微米以下,我们这里主要讲述前者。

在制备透射电子显微镜(TEM测试)薄膜样品时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,大多数同学没有太好的处理薄膜样品的方法,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;

 

实验方法

 

获取衍射花样的方法是光阑选区衍射和微束选区衍射,前者多在5平方微米以上,后者可在0.5平方微米以下,我们这里主要讲述前者。

 

光阑选区衍射是是通过物镜象平面上插入选区光阑限制参加成象和衍射的区域来实现的。

 

另外,电镜的一个特点就是能够做到选区衍射和选区成象的一致性。

 

衍射花样的分类:

 

 1)斑点花样:平行入射束与单晶作用产生斑点状花样;主要用于确定第二象、孪晶、有序化、调幅结构、取向关系、成象衍射条件;

 

 2)菊池线花样:平行入射束经单晶非弹性散射失去很少能量,随之又遭到弹性散射而产生线状花样;主要用于衬度分析、结构分析、相变分析以及晶体的精确取向、布拉格位置偏移矢量、电子波长的测定等;

 

 3)会聚束花样:会聚束与单晶作用产生盘、线状花样;可以用来确定晶体试样的厚度、强度分布、取向、点群、空间群以及晶体缺陷等。

 

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