用原位椭圆偏振法监测银固态脱湿

沉积在二氧化硅基底上的银膜不潮湿，但不稳定，容易结块。这种现象发生在金属熔点以下，称为固态脱湿。它主要被认为是玻璃工业生产的银基隔热玻璃的缺陷来源，因此是一种不必要的有害现象。P. Jacquet等人^[1]考虑了用原位椭圆偏振法监测银固态脱湿的可能性。

对润湿形态的了解与温度相关的椭圆测量相结合。银去湿涉及形态演变的三个不同步骤，实验旨在通过椭圆偏振法确定：诱导、传播和烧结。通过溅射在取向硅晶片上沉积20nm厚的银膜，并对其单面进行抛光，表面覆盖天然氧化物。800 μm用于原位椭偏，以避免加热时弯曲。银膜是在同一批次中制作的，从而确保了所有银膜的沉积条件都是严格相同的。在下面，唯一不同的样品制备的死后或原位研究是晶圆厚度。

在Linkam T95-PE的加热台上，将样品在空气中退火。为了获得不同的脱湿阶段，对不同的样品进行了100、150、300和400°C的退火，升温斜坡为150°C/min；温度保持5分钟后冷却。解剖后进行原子力显微镜成像(AFM)。用AFM Dimension Icon装置冷却样品。

首先通过原子力显微镜（AFM）测量了部分脱水样品的光学响应及其形态结构。通过观察发现在显微镜下观察到的主要特征在椭圆偏振光谱中是可识别的。然后，分析从现场测量中提取的介电函数，以预测除湿过程的进展。

[1] P. Jacquet, Kildemo M , Jupille J ,et al.Monitoring silver solid-state dewetting with in situ ellipsometry[J].Applied Surface Science, 2017.DOI:10.1016/j.apsusc.2016.10.160.

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