离子减薄

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仪器型号 Gatan691、Fischion 1051、Gatan 695等

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娄**	南京理工大学	离子减薄	24.4	Advanced Energy Materials	500元	2025-01-21
娄**	南京理工大学	离子减薄	18.5	Advanced Functional Materials	400元	2024-08-17
刘**	浙江理工大学	离子减薄	13.3	SMALL	500元	2023-11-27
沈**	吉林大学	离子减薄	10	Materials Today Physics	300元	2025-03-07
娄**	南京理工大学	离子减薄	8.3	Acta Materialia	300元	2024-11-11
周**	昆明理工大学	离子减薄	8	Journal of Science: Advanced Materials and Devices	300元	2023-08-24
张**	吉林大学	离子减薄	6.1	Tribology International	200元	2024-07-29

离子减薄常用于材料科学研究中，离子减薄的基本过程是通过高能离子束轰击样品表面，将样品表面原子层逐层剥离，进而得到具有高度平坦度和厚度均匀的材料薄片。减薄后的样品可以应用各种表征，比如扫描电镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、XRD等。

离子减薄过程一般分为穿孔和修整薄区两步。离子束以较大入射角在样品上击穿一个中心孔，然后用较小的入射角度和较低能量的离子束在穿孔边缘进行修整。

成功与否的标准是减薄出来的薄片可以达到上机的程度，不保证切的位置一定是您要的形貌或者相，一般离子减薄无法做到定位减薄。

1. 样品要求：样品直径≥3mm，厚度建议50μm（建议将样品用线切割、砂纸磨等方式处理成薄片）；

2. 样品类型主要根据脆性、硬度、是否均质划分：

样品类型	示例
普通韧性材料	Al、Cu、Fe、 Co、Ni 等金属
脆性材料	NdFeB, Cu-石墨、TiAl, Ni3Al, BaTiO3 属脆性材料、复合材料、高熵合金、甩带、金属间化合物、常规陶瓷、粉末冶金制备的其他脆性材料
超硬+脆性/软硬相间材料	合金里含有 Al2O3, MgO, SiO2, SiC, Si3N4 等硬度≥SiC的材料；软硬相间材料例WCu合金等；
非硅基底薄膜材料	包括 MgO, SrTiO3, SiO2, Al2O3等
易氧化的材料	Mg Zn Sn等金属及其合金
定点制备薄区	如焊接样品的焊缝、绝热剪切带等

制样方式	适用样品类型	特点
聚焦离子束（FIB）	适用金属、非金属、半导体、瓷器、岩层等固体样品	加工精度高，可以满足各类样品类型，制备效率较高
超薄切片	高分子材料，纤维以及生物组织、细胞、无机粉体材料等	技术要求高，制备过程繁琐，可获得纳米级切片。
离子减薄	多相合金、陶瓷、半导体、矿物、多层膜截面等试样	离子减薄的质量高、薄区大，但效率较低，一般情况下4μm/h左右
电解抛光	金属、部分合金试样	效率较高，均匀性好，无机械应力损伤。
萃取复型	需要对第二相粒子形状、大小和分布进行分析的同时对第二相粒子进行物相及晶体结构分析。	可分析第二相，操作相对简单，但不是直接测试样品，对样品表面要求较高。

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