台阶仪简介

工作原理:

台阶仪的工作原理。台阶仪最主要的工作就是测量，当台阶仪的触针在被测的物体表面轻轻滑过时，被接触的物体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此表面轮廓的情况在一定程度上就被触针的运动情况所体现出来。当输出的信号经过测量的电桥之后，输出的信号与触针的平衡位子的位移此刻成正比，调幅的信号也就随之出现，经过放大和整流之后，位移信号就从调幅信号中解调出来了，信号就变得相应缓慢，半导体厚度测试台阶仪，也就能在控制器中被读出来。随之噪音滤波器以及波度滤波器会对调制频率以及外界的干扰信号等因素进行进一步的过滤，误差所带来的影响也随之减小。

典型应用：

太阳能电池、太阳能集热器等 PVD(物理气相沉积)太阳能涂层研究，对薄膜材料常规性能的检测台阶膜厚仪

它广泛应用于太阳能薄膜材料、半导体硅片、微电子器件、薄膜化学涂层、平板显示器等研究领域。在新型薄膜材料的开发研究工作上极为重要。

仪器性能：

扫描长度：≤30mm;

垂直测量范围(最大台阶高度)：≤1.9mm;

扫描速度：2μm/s到200μm/s;

垂直范围分辨率：2.5μm台阶高度内测量分辨率0.1nm;

重复精度：0.6nm或0.1%台阶高度

最大样品厚度：≤20mm;

样品要求：

长宽小于30mm，厚度小于20mm

检测项目：

1、薄膜、涂层厚度测量;

2、台阶高度测量;

3、表面粗糙度测量;

4、2维薄膜应力测量;

5、平坦度、波纹度、曲率测量;

6、表面轮廓(缺陷、形貌等)测量。

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