【摘要】 EBSD作为一套综合性的显微结构分析系统，功能十分强大，可以提供晶粒相鉴定、相含量分布、晶粒取向、取向差、取向关系等多种重要的晶体学信息。

EBSD作为一套综合性的显微结构分析系统，功能十分强大，可以提供晶粒相鉴定、相含量分布、晶粒取向、取向差、取向关系等多种重要的晶体学信息。又凭借其强大的统计性，EBSD可以对晶粒取向和取向差成像，有助于可视化材料的显微结构。通过对晶粒的取向关系分析还可判断晶界，评估塑性变形，计算位错密度，表征应力应变等。结合原位实验还可追踪材料的微结构演变。因此，EBSD在地球科学、金属材料等多个研究领域都发挥了巨大的作用。

（1）相鉴定

准确的相鉴定对于材料的质量控制至关重要。目前商用的EBSD系统都有相鉴定模块，通过预先的人为选相或能谱提供的化学成分信息缩小范围，然后在数据库中搜索可进行相鉴定。但对于结构相似相来说，单纯依靠常规的相鉴定模块无法成功区分，因此需要对菊池花样进行细致分析。

例如，由于固溶体存在，使用常规的EBSD相鉴定难以区分岩石中含有的不同矿物。透辉石、硬玉、普通辉石、易变辉石都属于单斜辉石亚族，但它们的晶格参数相差很小(β透辉石=105.8°，β硬玉=107.6°，β普通辉石=～105°，β易变辉石=108.5)，EBSD采用晶面夹角匹配法，在和数据库理论值匹配时会设置一定的角度容差，它们的晶面夹角变化小于角度容差因此难以区分。但可通过对菊池花样的细致分析，从花样质量、菊池带强度对比度等多重因素入手，找到不同相之间的花样差异从而区分。

22合金（也称为C22）是一种镍铬钼合金，它具有很强的耐腐蚀性能。22合金很容易形成三种不同结构的第二相（尤其是在高温下)，从而严重降低其抗腐蚀性能。因此，准确估计第二相的含量对于预测材料性能有重要意义。有研究者通过能谱测定成分，但差异小于3%不足以区分这三种第二相，但它们的晶体结构明显不同，因此可以借助EBSD通过结构差异来区分它们。通过对菊池花样进行细致的人工检查，包括检查菊池花样是否具有三次对称性、是否存在较强的高阶衍射环区分了这些不同结构的第二相。

在镍基高温合金中，有两种相（γ和γ’）在结构上很接近，难以用EBSD来区分。研究发现，通过菊池带对比度的微小差异这一特征可以有效区分它们，因此菊池带对比度的差异也可作为相鉴别的重要特征之一。

 

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