【摘要】 D-SIMS采用DC模式的离子源，深度剖析时分析和溅射同时进行，对表面是连续深度作用的过程，成分从表面到深度的信息是连续采集。而SSIMS采用脉冲模式，深度剖析时分析和溅射交替进行，从表面的到深度的分析不是连续的过程，溅射除去的深度部分的成分信息没有被收集到，因此深度分辨率是D-SIMS优于S-SIMS

在做TOF-SIMS测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对此项目不太了解，针对此，科学指南针检测平台组织相关同事对TOF-SIMS测试进行问题收集并整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

 

1.DSIMS深度分辨率为什么高于SSIMS？
回复：D-SIMS采用DC模式的离子源，深度剖析时分析和溅射同时进行，对表面是连续深度作用的过程，成分从表面到深度的信息是连续采集。而SSIMS采用脉冲模式，深度剖析时分析和溅射交替进行，从表面的到深度的分析不是连续的过程，溅射除去的深度部分的成分信息没有被收集到，因此深度分辨率是D-SIMS优于S-SIMS，见以下示意图：

 

 

2. 可以测三维mapping吗？
回复：可以得到3-D成像，如以下图示： 

 

 

3.钢铁材料表面氧化层，不同层深的检测如何做？
回复：采用TOF-SIMS深度剖析模式进行分析。

 

4.深度剖析过渡层信息可信吗，总有回跳？
回复：第一看仪器测试条件的稳定性如何？（totalion/以及其它特征离子是不是都有回跳？如果都有回跳，可能是测试条件不稳定），如果只是特别元素回跳而其它离子比较正常，那很可能是真实的界面扩散。还有就是基体效应的影响。总之还是要看实际情况而定。

 

5.分析有机基团与金属离子的测试条件相同吗？
回复：通常采用Bi3++可以同时分析有机集团和金属离子。

 

6.TOF-SIMS可以测液固界面的变化吗？对液相pH有要求吗？
回复：液体样品必须干燥和冷冻后才能用TOF-SIMS进行分析。对pH值没有要求。

 

7.TOF-SIMS测试多层膜层，怎样判各层？
回复：多层厚膜，可以用CP/FIB加工断面，直接测试断面的方法，然后采用每个膜层成分的特征离子来判断各层的分布，先扫描的方式区分不同膜层。如果多层薄膜（纳米级尺度），用深度剖析方法，然后采用每个膜层成分的特征离子来判断各层的深度分布，用深度剖析曲线或3D图呈现不同结构。

 

8.N元素应该什么模式可以测试？正离子还是负？
回复：通常N原子离子很难表征，需要用NH4，CN，CNO，CNS这些离子来判断N的存在与否，NH4离子是在正离子模式出峰，而CN，CNO，CNS在负离子模式出峰。

 

9.EAG哪个图在哪里找啊?
回复：网站资源https://www.eag.com/

 

10.老师如果我想检测表面氧的变化，那怎么定量？
回复：定量需要标准样品，但可以根据O谱峰强度的变化来表征含量的变化。

 

11.金属材料表层氧化层分析怎么做好些？
回复：深度剖析的方法。用金属氧化物的离子和O的离子从表面到深度强度的变化表征氧化层。

 

12.我想问下样品制备有什么要求吗？
回复：样品越小越好：最好小于1CMX1CM，越平整越好，真空兼容，测试表面不要触碰包装材料，粉末用干净玻璃瓶盛装，固体样品可以用铝箔纸包装后再放入盒子或袋子里比较好。

 

13.如何解析未知的谱图，有方法吗。如何解析未知谱峰，有技巧吗？
回复：先校正谱峰、元素识别、小分子识别到大分子判断。有机组分需要参考数据库里的标准图谱等等。

 

14.表面氧动态变化是nano还是tof更好呢？
回复：表面分析用TOF比较好，可以成像和采谱。

 

15.想请问老师仪器参数中质量分辨率是什么概念？
回复：质量分辨率：m/∆m，代表区分不同质量的能力，这个数值越大说明质量分辨能力越好，对成分的定性越准确。

 

16.TOF-SIMS的离子强度是否可以定性？
回复：离子强度通过标准样品可以定量，定性看谱峰的荷质比（m/z）。

 

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