【摘要】 样品室是离子减薄仪的主体，包括：离子枪，样品台，防污染设备。

每个厂家生产的减薄仪在结构之外都差不多，一般由以下几个部分组成：(1)样品室；(2)真空系统；(3)供电和控制系统；(4)照明和监控系统。

 

（1）样品室

样品室是离子减薄仪的主体，包括：离子枪，样品台，防污染设备。（GL-69系列只有一些设备)，照明和监控系统。(1)离子枪:离子结构一般采用空心阳极电弧放电离子枪。在高压电场的影响下，与气体分子接触时，稀释气体的航行距离和动能足以使分子电离。此时形成的正离子和电子分别向能量发光。负极中间有一个小孔，电场中产生的离子被孔射出产生离子束。

（2）样品台

离子薄化仪的样品平台也是核心部件之一。大多数离子薄化仪的样品平台结构都有一个非常薄的样品支架(大多数是由钒制成的)，由三个非常细的支柱支撑，并与电机旋转机构相连。离子从上到下轰动样品表面，电机推动样品旋转。旋转缓慢，通常在每分钟几转到几十转之间。这种结构的优点是样品平放在样品平台上，不需要固定。它的缺点是体积大，下部的三根支柱会挡住离子束，每转一周挡住三次。更换样品也不方便。GL-69系列离子减薄仪使用它的样品平台。

(3)防污染设备

GL-69系列离子减薄仪还附加了防污染设备，可以显著降低观察和照明系统的清洁频率，以防止在薄化过程中溅射物对观察窗口和照明系统的污染。

(4)照明和监控系统

主要用于监测薄化过程，在样品中心穿孔时可及时关机。GL-69系列选择聚光干预灯源。样品第一次穿孔时，会立即在孔边产生衍射现象，出现明亮的菲涅尔光点，容易发现，可以及时关机。无论你选择哪种监控方式，都不需要一直监控。由于离子薄化过程缓慢，只要提前估计需要的时间，就可以在即将穿孔的时候(提前一小时)开始监控或启动监控系统，每20分钟观察一次，然后再穿孔。

 

(2)真空系统

在真空状态下必须进行离子薄化过程，一般要求样品室先抽到5。×超过10-3Pa，因此选择了机械泵加扩散泵的二级真空系统，目前，GL-69系列已经选择了分子泵系统，真空监测已经采用复合计进行实时监测。

供电和控制系统(三)

升降部分通常是高压供电，初期产品采用工频变压方式，目前已改为高频振荡变压方式，减小体积也非常安全。

设备技术标准四、设备

目前离子减薄仪还没有认可统一的评价技术标准和验收程序，所以不同厂家在产品手册中的技术指标项目也不一样。然而，所有制造商都给出了以下参数(加速电压、速流密度和薄化速率)中的一两个。本文作者认为，作为验收标准，加速电压和薄化速率更合适。因为这两个指标与用户使用密切相关，也体现了设备的设计和制造水平，可以进行现场演示或实际测量。

实际上，装置时不公平要注意厂家提供的技术标准，并要注意实际使用性能，包括开机率、故障率、操作简便程度、售后服务、配件来源及供应等。性能价格比当然也要考虑。主要满足工作的基本要求。这是购买设备的一般原则，用户可以根据自己的情况来衡量。从价格上看，离子减薄仪应该属于大中型仪器。现在使用还不是很普遍，熟悉这个设备的顾客还不多，所以最好由厂家派人为顾客安装，进行验收。通过这种方式，不仅可以使用户尽早投入使用，而且可以减少用户与制造商之间的争议。制造商应向用户提供验收报告(应包括两项内容：加速电压和薄化速率)，并得到客户的认可。这种仪器对安装条件要求不高。最大面积不超过2平方米。加上氩气瓶和减压表的条件，可以使用工业纯氩，不需要使用高纯氩。氩气瓶可直接与仪器连接，也可将氩气装入氩气袋中。这种方式更加安全，方便，而且气压非常稳定。房间不必遮黑，但湿度不宜过高，也不应有腐蚀性气氛。