【摘要】 在EELS实验中,具有已知动能的电子束入射到待测材料上,部分电子会与原子发生非弹性散射,从而损失一部分能量并且路径发生随机的小偏转。
电子能量损失谱(EELS)是一种利用非弹性散射引起的能量损失来获取表面原子的物理和化学信息的分析方法。这种技术主要应用于物理学、材料科学以及能源材料等领域,通过测量电子与样品相互作用后的动能变化,可以确定样品的原子结构和化学特性,如元素的种类及数量、元素的化学状态等。
EELS的应用非常广泛,包括但不限于:
1.化学键结性质分析:EELS能够揭示材料中不同元素的化学状态,从而提供关于化学键类型和强度的信息。
2.表面和界面研究:通过研究吸附分子的电子跃迁、薄膜镀层的光学性质以及界面状态,可以深入了解材料的表面和界面行为。
3.纳米级电子和振动动力学:EELS可以用于测量纳米级尺度上的声子、激子等现象,这对于理解材料的电子结构和动力学过程至关重要。
4.能源材料研究:在锂电池、太阳能电池和催化剂等能源材料的研究中,EELS提供了一种强大的工具来分析材料的微观结构和性能变化。
5.单原子层面的研究:EELS技术已经能够在单原子层厚的异质结界面上进行测量,这对于探索新型材料和器件具有重要意义。
在EELS实验中,具有已知动能的电子束入射到待测材料上,部分电子会与原子发生非弹性散射,从而损失一部分能量并且路径发生随机的小偏转。这些能量损失的电子被记录下来,形成所谓的电子能量损失谱。EELS技术可以提供高空间分辨率的结构信息和样品的化学性能。
此外,EELS技术与透射电子显微镜(TEM)结合使用时,可以提供原子级的化学和结构表征。这包括有关元素组成、化学键合、氧化态、价带和导带电子特性以及表面特性的信息。EELS技术特别适用于Si/C/O/N系统,并且对低Z元素的灵敏度更高,有时甚至可以提供化学信息。
近年来,随着技术的不断发展,EELS能谱分析技术逐渐实现了对样品的空间分辨率要求的提高,例如通过扫描样品表面或使用STEM(透射电子显微镜中的扫描透射电子显微镜),进一步增强了其在材料研究中的应用潜力。
总之,电子能量损失谱是一种强大的表征技术,它不仅能够提供材料的元素分布,还可以给出局部原子的详细电子结构,是现代材料科学研究中不可或缺的工具之一。
1.GW Bailey, RL Price, E Voelkl, IH Musselman, V J Keast, N Sharma, M Kappers, C J Humphreys, Electron Energy Loss Spectroscopy (EELS) of GaN Alloys and Quantum Wells, Microscopy and Microanalysis, Volume 7, Issue S2, 1 August 2001, Pages 1182–1183, https://doi.org/10.1017/S1431927600031986.